Tata cara sholat tahajud sama dengan sholat sunnah dua rakaat pada umumnya, yaitu :
1. Niat
2. Takbiratul ihram, diikuti dengan doa iftitah
3. Membaca surat Al Fatihah
4. Membaca surat atau ayat Al Qur’an. Rasulullah biasa membaca surat yang panjang-panjang.
5. Ruku’ dengan tuma’ninah
6. I’tidal dengan tuma’ninah
7. Sujud dengan tuma’ninah
8. Duduk di antara dua sujud dengan tuma’ninah.
9. Sujud kedua dengan tuma'ninah
10. Berdiri lagi untuk menunaikan rakaat kedua