1. Berniat
Sebelum melakukan itikaf di masjid, adalah berniat melaksanakannya dalam waktu tertentu seperti 1 jam, 2 jam, 3 jam dan seterusnya.
Ini niat itikaf di masjid lengkap tulisan arab, latin dan artinya:
نَوَيْتُ الْاِعْتِكَافَ فِي هَذَا المَسْجِدِ سُنَّةً لِلَّهِ تَعَالَى
Latin: Nawaitul i'tikafa fii haadzal masjidi sunnatan lillahi ta'ala.
Artinya: aku berniat i'tikaf di masjid ini, sunah karena Allah ta'ala.
2. Berdiam Diri di Masjid
Itikaf adalah berdiam diri yang dilakukan di masjid dengan tujuan mengharapkan ridho Allah SWT dengan melakukan amal ibadah tertentu.
Selama kurun waktu yang sudah diniatkan untuk mengerjakan i'tikaf, umat Muslim yang melakukannya tidak boleh keluar masjid kecuali urusan syar'i, urusan mendesak, dan urusan naluri manusia seperti buang air kecil, buang air besar atau mandi junub.
Mengerjakan amal ibadah seperti yang dijelaskan pada paragraf sebelumnya adalah kegiatan yang bisa dilakukan selama pelaksanaan itikaf.
3. Mendekatkan Diri Kepada Allah SWT
Berdzikir dan mengingat Allah SWT adalah salah satu cara mendekatkan diri kepada-Nya. Tidak mengerjakan aktifitas yang tidak perlu seperti terus menerus mengecek ponsel adalah hal baik selama pelaksanaan itikaf di masjid.